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AR膜缺陷檢測系統
產(chǎn)品時(shí)間：2024-03-28
減反射增透膜（ Anti-Refletance），簡(jiǎn)稱(chēng)AR膜， 是在玻璃基片上鍍多層復合光學(xué)膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通過(guò)精心的膜層設計和膜厚嚴格控制，利用干涉效應減少基片表面反射。
AR膜缺陷檢測系統是用于玻璃基板防反射涂層的缺陷檢查設備。 用倒置顯微鏡和線(xiàn)型攝像機對透明基板的表面和背面進(jìn)行高速掃描和檢測，并顯示檢測結果。
AR膜缺陷檢測系統特點(diǎn)和功能
1.目標基板 大400mm，透明基板自動(dòng)對焦檢測。
2.檢測缺陷：AR膠片基板上的白色異物（缺失）或黑色異物，檢測分辨率2.8μm（1.4μm）。
3.遠程控制復核檢查， 攝像機/照明/物鏡變化/舞臺和焦點(diǎn)。
緊湊的設計，采用倒置光學(xué)系統，高性能的線(xiàn)相機和復查相機檢測。
檢驗艙門(mén)升起，將板子放在支架上進(jìn)行高速清潔檢驗。 配有水平FFU
AR膜缺陷檢測系統性能
正常模式：5倍，分辨率2.8μm，檢測面/寬度3mm×80mm/秒+α。
高性能模式：10倍，分辨率1.4μm：檢測面/寬度1.5mm×40mm/秒+α。
另有標記功能