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日本EHC VD-400減壓室
產(chǎn)品時(shí)間：2024-03-28
日本EHC VD-400減壓室一個(gè)減壓的干燥系統，帶有觸摸面板控制的配方操作。VD-400是一個(gè)減壓室，用于在抗蝕劑應用后對玻璃基材進(jìn)行涂層。該設備用于減壓干燥。
日本EHC VD-400減壓室
一個(gè)減壓的干燥系統，帶有觸摸面板控制的配方操作。
VD-400是一個(gè)減壓室，用于在抗蝕劑應用后對玻璃基材進(jìn)行涂層。
該設備用于減壓干燥。
VD-400減壓室特點(diǎn)。
通過(guò)觸摸面板控制簡(jiǎn)化操作。
可進(jìn)行配方操作（允許復制操作程序）。
兩級排風(fēng)減少了風(fēng)的波紋和氣泡。
蝶形閥的使用使真空排氣量得以設定。
日本EHC VD-400減壓室
主要規格。
外部尺寸400毫米×400毫米，高度103毫米（蓋子關(guān)閉時(shí)）。
內部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米
○ 真空：可實(shí)現的真空度約為1Pa或更低（無(wú)負載時(shí)）。
規格。
0室：外部尺寸400mm x 400mm，高度103mm（蓋子關(guān)閉時(shí)）。
內部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米
0 真空系統：可實(shí)現的真空度：1帕或更低（不含樣品）
干式泵250升/分鐘
達到設定壓力時(shí)，自動(dòng)釋放到大氣中。
時(shí)間模式 在設定的減壓時(shí)間后自動(dòng)釋放大氣。
0 實(shí)用：3Φ AC200：干燥空氣 0.4-0.6 MPa：真空抽氣
z 外部尺寸：（寬）1000 x（長(cháng)）800 mm x（高）1600 mm
0 設備重量：約250公斤
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