日本EHC 自動(dòng)轉印顯影機ACT-300A2

日本EHC 自動(dòng)轉印顯影機ACT-300A2

緊湊型自動(dòng)轉印顯影機。

ACT-300A2S自動(dòng)轉印型顯影機在旋轉6英寸以下的基材時(shí)進(jìn)行噴霧顯影。

它配備了兩套顯影液系統、一套沖洗系統和一把氣刀，配方設置操作可通過(guò)觸摸屏進(jìn)行，可實(shí)現多達25種基質(zhì)的自動(dòng)顯影。

也可提供無(wú)自動(dòng)處理的單晶片類(lèi)型。

日本EHC 自動(dòng)轉印顯影機ACT-300A2

主要規格。

處理能力：可連續處理25張6英寸以下的圓形基材。

流程：顯影劑：2個(gè)系統，漂洗：1個(gè)系統，氣刀：1個(gè)系統?！?/p>

使用的化學(xué)品：堿性顯影劑，去離子清洗水。

處理能力 多達25個(gè)6英寸的圓形基片（專(zhuān)用盒式存儲型）。

過(guò)程開(kāi)發(fā)者2系統（噴嘴可互換）。

　　　　　　　　1個(gè)漂洗系統 1個(gè)氣刀系統

使用的化學(xué)品 堿性顯影劑 去離子清洗水

轉移機器人Tatsumo定心臺，用于準確定位基片。

可以注冊10個(gè)步驟x50個(gè)模式的食譜。

以0.1秒為增量的處理時(shí)間設置

板速交流伺服電機控制的　0-3000 rpm 精度±2 轉速以?xún)?/p>

設備尺寸 W1120 x D920 x 高1950毫米，zui大50 0公斤或以下

控制系統8英寸觸摸面板操作

吸水臺 白色特氟隆，真空孔吸水式

罐體容量為18L，與機體分離，通過(guò)稱(chēng)重傳感器檢測殘余液位。

顯影液控制溫度20-30°C ± 3°C

公用事業(yè) 3相200V/30A 1個(gè)漏電斷路器

內置真空泵

空氣0.5兆帕

氮氣 0.3 MPa

排氣管 2個(gè)排氣系統（電動(dòng)排氣管、杯式排氣管），?75 mm

顯影液廢液    收集在聚乙烯罐中或與工廠(chǎng)廢物相連