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產(chǎn)品展示PRODUCTS

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日本MSA 晶圓加熱載體

產(chǎn)品時(shí)間：2024-03-28
晶片溫度特性測試，用于安裝探頭的熱卡盤(pán) 玻璃卡盤(pán)，基材電特性測試
數字溫度控制器

主要應用。

晶片溫度特性測試，用于安裝探頭的熱卡盤(pán) 玻璃卡盤(pán)，基材電特性測試

數字溫度控制器

通過(guò)一個(gè)一鍵式連接器連接到MSA工廠(chǎng)標準溫度控制器。 通過(guò)簡(jiǎn)單的操作可以立即進(jìn)行高度精確的溫度控制。 pcc100_sg

支持定制的卡盤(pán)模式

標準卡盤(pán)模式：如果將工件放在中央卡盤(pán)孔中，可提供通用尺寸（例如6英寸、4英寸、3英寸和6英寸的卡盤(pán)）。 如果有其他卡盤(pán)模式（如卡盤(pán)位置的規格），可以定制。

卡盤(pán)表面 導電性/絕緣性/漏電性

卡盤(pán)表面有導電規格，如鍍金（最高200°C）和鍍鎳（最高400°C），也有絕緣規格，如礬土處理（400°C）和氧化鋁涂層。 卡盤(pán)面配備了一個(gè)GND端子，這樣就可以連接到測量設備的GND上，等等。

特征

image.png緊湊型晶圓卡盤(pán)加熱載體，高精度溫度控制

(±1.0%)

*如果需要更高精度類(lèi)型的產(chǎn)品，請聯(lián)系我們。

低成本、薄型晶圓加熱載體

通過(guò)使用溫度控制器（單獨出售），可以進(jìn)行廣泛的溫度設置。 (室溫-200°C)。

可提供各種附加功能的定制。

定位銷(xiāo)、晶圓尺寸切換桿等。



半導體晶圓的加熱程序管控

各種  評價(jià)用界面、可以與您的設備相連接。



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    規格和定制


規格（標準）




定制設置

溫度設置范圍

室溫―200℃

○

加熱板功率

２00-４00W

○

工作臺尺寸

φ ７５～１00mm

○（其他定制尺寸）

工作臺材質(zhì)

アルミ、SUS

○

選配

晶圓切換功能、工作臺安裝板等

○

*關(guān)于其他精元尺寸，PH200,300系列可以接受定制對應。

定制：○為可以為客戶(hù)定制需要的規格。









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